渦旋式真空泵的含義及特點
一、真空泵的含義

       真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

二、渦旋式真空泵的基本特點

　　渦旋式真空泵由渦旋式壓縮機(jī)演變而來，機(jī)構(gòu)原理最早由法國人Cruex于1905年發(fā)明，但受限于當(dāng)時的工藝技術(shù)并未應(yīng)用于實際，直到上世紀(jì)80年代前后才應(yīng)用于真空技術(shù)領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)簡單，零部件少；間隙小、泄漏率小，具有較高的壓縮比，在較寬壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速；并且其壓縮腔內(nèi)需冷卻水與潤滑油，維護(hù)簡單，可靠性高。

　　由于渦旋式真空泵自身型線的特點，一般情況下，渦旋式真空泵的抽速不超過1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，而抽速小于4L/s的則多采用單側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，極限真空在1Pa左右。