- 渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)特點及應用
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結(jié)構(gòu)特點
渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)簡單，主要由5個部件組成：①動靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機構(gòu)；⑤電機渦旋真空泵結(jié)構(gòu)
渦旋式真空泵的主要運動件只有動渦旋盤，動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小，所以其具備了結(jié)構(gòu)簡單緊湊、運行平穩(wěn)，幾乎無磨損，消耗功率小等特點，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。 -
應用范圍
渦旋式真空泵抽速較小，同時也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質(zhì)工況環(huán)境。因此目前渦旋式真空泵較多應用于分析儀器、半導體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備上。因其可以直接在大氣壓下啟動，很多時候作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現(xiàn)。
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